חומרים ואפיונם- מעבדה 3
Materials Characterization Laboory 3
קוד קורס: 20017
2.0 נ"ז
תהליך מיקרו ליתוגרפיה ואיכול יבש ליצירת מבנים על מצע סיליקון או תחמוצת סיליקון. שכבות דקות מוליכות ומוליכות למחצה, יצירתן ובדיקת עובי. בדיקות חשמליות של שבבים, כבקרת תהליך והבנת מבנה הטרנזיסטור. מיקרוסקופ אלקטרוני סורק, שימושו לבדיקת כשלי התהליך ואבחון שכבות שונות בתהליך ייצור השבב.
דרישות הקדם והדרישות המקבילות בקורס חומרים ואיפיונם – מעבדה 3 הינן:
דרישות קדם: חומרים ותהליכים במיקרואלקטרוניקה 1 (20019), התקנים של מוליכים למחצה (20011)
