מבוא ; תהליכים ביצור VLSI ; דוגמא לשלבי יצור: תהליך CN20 של ORBIT ; בור N ; השכבות המתכתיות ; שכבות ACTIV ו- POLY; טרנזיסטור ה; MOSFET – התקנים עבור מעגלים CMOS ספרתיים ; התקנים עבור מעגלי CMOS אנלוגיים.
Δ