מבוא למערכות מיקרו; סקירה כללית של תחומי יישום עיקריים; שלבי הפיתוח של מערכות מיקרו: מידול, תכן, סימולציה, ייצור ואפיון; טכנולוגיות הייצור; תכונות החומרים לבניית מערכות מיקרו; שיטות הפעלה: אלקטרוסטטי, מגנטי, פיאזואלקטרי, תרמי; כוחות במערכות מיקרו; השוואה בין המיקרו למקרו; חישובי כוחות אלקטרוסטטיים; מנגנוני ריסון; שיטות חישה; עקרונות המידול; מידול ברמת ההתקן וברמת המערכת; ניסוח מתמטי ופתרון של בעיות אלקטרומכניות עם הפעלה אלקטרוסטטית; פתרון של בעיות יציבות; תורת החוזק של רכיבים מיקרו מכנים: חוקי חומר, מאמצים שיוריים, קורות; שימוש בכלים ממוחשבים בשלבי הפיתוח; טכניקות לאיפיון סטטי ודינמי; אינטגרציה עם תהליכי CMOS סטנדרטים; ניתוח דוגמאות של מערכות מיקרו: מדי לחץ, מדי תאוצה, מיקרו מקרנים, מיקרופונים; אפליקציות תדר גבוה: שעונים, פילטרים.
דרישות הקדם והדרישות המקבילות בקורס מבוא למיקרו מערכות הינן:
דרישות קדם: פיסיקה 2-חשמל ומגנטיות (60017), מדע החומרים (60022)
דרישות מקבילות: חוזק חומרים (60031)
