יישום עקרונות התכנון, הסימולציה, הייצור והאפיון של מיקרו מערכות. השימוש בחומרים ותהליכים מתעשיית המוליכים למחצה עבור התכן והייצור של מערכות מיקרו. חומרים וטכנולוגיות ייצור יחודיים למערכות מיקרו. שימוש בכלי תכן וסימולציה (מערכות ותהליכים) הנמצאים בשימוש בתעשייה. פרוט שלבי התהליך תוך שילוב הצד התיאורטי הקשור בכל אחד מהתהליכים. סקרית תהליכי הייצור: ליטוגרפיה ויישור, תהליכי איכול רטוב ויבש, מעצורי איכול, תהליכי דפוזיציה ונידוף, LPCVD, Lift Off
תהליכי בניה בשכבות דקות (Surface Micromachining) ובנפח גדול (Bulk Micromachining),
אלקטרופלייטינג, תהליכי שחרור, הפעלה ואפיון של מיקרו מערכות. תכונות (כימיות, חשמליות, מכניות) של חומרים פולימרים וטכנולוגיות ייצור ליישום במערכות מיקרו. מאפיינים של פני השטח וטכניקות לטיפול. תכונות ופרמטרי מפתח של חומרים והשפעתם על התהליכים והאפליקציות, כולל דפורמציות אלסטיות ולא אלסטיות, שבר, מאמצים שיוריים, עייפות, דפורמציה, הדבקות, הצמדות. ניתוח דוגמאות של בחירת חומרים ותהליך לאפליקציות שונות.
דרישות הקדם והדרישות המקבילות בקורס חומרים וטכנולוגיות ייצור של מיקרו מערכות הינן:
דרישות קדם: מדע החומרים (60022), מבוא למיקרו מערכות (60041)
דרישות מקבילות: אין
